6月30日的Home报告说，根据“中国科学院之声”的公开报道，在卫星激光通信系统中，光束控制精度决定了通信的质量。如果卫星激光通信系统被认为是传播空间的“数字生活”，那么控制激光器的快速反射器（因此从因此被称为快速反射器）就是维持其操作的“准确性心脏”。这种“基于心脏的心脏”可以准确地控制激光束，这可以确保不会中断稳定通信的“生命信号”。最近，中国科学学院上海微系统与信息技术研究所成功开发了具有合并角度传感器的高性能MEMS快速玻璃。它的玻璃很大，包装很小。 Pinagasamamit是高敏性角传感器。它具有良好的幽默感，角度分辨率，响应速度，重复t定位和玻璃动态变形的准确性。它可以实现更准确的激光束闭环控制，并且具有较大的卫星通信应用潜力。如图所示，封装的MEMS镜子是1元硬币的大小。 ▲包裹的MEMS快速镜像它从官方介绍中学到的，要满足激光局间链接的高精度光束控制的需求，Fast Glass需要具有一系列极端性能指标，例如高方向，高工作带宽和高光学质量。研究团队面临两个主要的技术瓶颈：梯形机械快速玻璃具有较大的尺寸，高电能，磁滞性，以及带有小玻璃，低带宽和没有集成角度传感器的原始MEMS快速镜。直到今天，研究团队在过去五年中创建了航空航天级高准确性，高度可靠的MEMS快速玻璃。研究小组在Tegration技术，就像在设备中安装“复合骨头”，以实现MEMS快速镜的更高因子填充和频率共振。同时，使用粘结级晶圆级技术用于实现快速玻璃的高度平等制备。该设备具有高阶，超高的分辨率角度，快速步骤响应和位置的高精度。值得一提的是，此快速玻璃MEMS具有μRAD（Microdoradians）方向的准确性，并且可以最少识别0.3μRAD的变化角度，相当于识别位置变化的0.3米，远离1,000公里。 ▲MEMS快速镜面性能结果团队通过触摸手机屏幕而启发，并使用Silicon Piezoresistive应变的原理将传感器的芯片角度结合在MEMS快速玻璃中。通过创新的结构设计，引入了机械直接结构，以发展应力浓度（SCR），该领域将角度传感器的灵敏度从3.3mV/（V·MRAD）放在5.4mV/（V·MRAD）上，增加了63％，这显着地旨在优化梁对照的正确性。这种设计就像是一个普通人，他突然获得了超人的听力，发现了先前被忽略的细节，并清楚地听到了远处轻柔的声音。 ▲绘制压电角的结构设计，以确保空间的激光通信信号是“破坏性的”，研究团队进行了理论计算，有界的模拟元件和实验测试，并进行了“全率体格检查”。它表明，在准静态驱动器（500Hz@±2Mrad）的频率下，即500Hz（Hz），MEMS快速玻璃的角度精度可以达到±2Mrad（milliriradian），最大动态表面变形仅为2纳米。这相当于足球场上的玻璃，起义不超过D头发的iameter，它符合表面玻璃类型的通信卫星通信的严格要求。 ▲镜像动态变形的表征此时开发的MEMS快速玻璃具有显着的好处，并且在航空航天领域具有重要的应用前景。将来，研究团队将继续优化玻璃尺寸研究，闭环控制和设备可靠性。